実装基板対応型!! マイクロフォーカスタイプ
マイクロフォーカスX線装置 MXT-160 TP
おすすめ用途
- 大型実装基板
- 大型基板にマウントされた半導体
- 微小電子部品の接合部
特徴
- 弊社独自開発の開放型マイクロフォーカスＸ線管を搭載
- 最大管電圧160kVによるハイパワーにより実装基板程度ならほとんどを透過し見ることが出来ます。
- X線照射角120°という広範な照射領域を利用し、検出器のスイング角度を自由に変え（最大80°）、大型基板の実装接合部を斜めから検査できます。
- 操作エリアは400mm×300mm。
- 大型基板にマウントされた半導体、微小電子部品の接合部 検査や信頼性評価に最適です。
MXT-160 TP 仕様概要
| MXT-160TP | ||
|---|---|---|
| Ｘ線管 | 管電圧 | 10kV〜160kV |
| 管電流 | 0〜0.2mA | |
| 焦点寸法 | 2μm | |
| ターゲット | 透過型タングステンターゲット 寿命：5,000h〜 |
|
| 管構造 | 開放型/フィラメント交換式（空冷式） | |
| フィラメント | タングステンフィラメント/ ヘアピン型フィラメント | |
| 真空装置 | ターボポンプとロータリーポンプの2段引き | |
| TVシステム | I.I.管 | 4 inch / 2 inch 切替 LCD19インチ 傾斜角0〜60°(標準) / 0〜80°(オプション) |
| 幾何学倍率 | x1,200 | |
| マニピュレーター | 各軸動作範囲 | X軸=400mm、Y軸=300mm、Z軸=250mm ターンテーブル=360° |
| キャビン | 重量 | キャビン:920kg、総重量:1,220kg |
| 寸法 | (W)1,540mm × (D)1,120mm × (H)1,950mm | |
| Ｘ線漏れ線量 | 1.0μSv/h以下 |
X線検出器(I.I.管)の傾きについて
検出器を0°〜+80°傾斜（補正付）と360°回転テーブル機能（補正付）を合わせて使えば、目的の検査ポイントが手に取るように観察でき、サンプルの大小に関係なく、まるでサンプルが自在に動いているかのような柔軟で広い視野を実現します！
MXT-160TPによる撮影例
スルーホールの破壊状態
半田ボールのブリッジの状態
BGAのボールを正面から撮影
斜めより撮影
クラックが入ってるのが判別できる。
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