半導体・小型部品対応型!! マイクロフォーカス小型タイプ
マイクロフォーカスX線装置
MXT-160TU
おすすめ用途
- 微小電子部品
- 小型電子機器
特徴
- 弊社独自開発の開放型マイクロフォーカスＸ線管を搭載
- チップ抵抗、小型電子部品、アルミ鋳造品などにも対応できます。
- 標準の回転傾斜軸により小さい部品を自在に動かすことが出来ます。
MXT-160TU 仕様概要
| MXT-160TU | ||
|---|---|---|
| Ｘ線管 | 管電圧 | 10kV〜160kV |
| 管電流 | 0〜0.2mA | |
| 焦点寸法 | 3μm | |
| ターゲット | 透過型タングステンターゲット 寿命：5,000h〜 |
|
| 管構造 | 開放型/フィラメント交換式（空冷式） | |
| フィラメント | タングステンフィラメント ヘアピン型フィラメント |
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| 真空装置 | ターボポンプとロータリーポンプの2段引き | |
| TVシステム | I.I.管 | 4 inch / 2 inch 切替 |
| 幾何学倍率 | x1,000 | |
| マニピュレーター | 各軸動作範囲 | X軸=300mm、Y軸=250mm、Z軸=250mm 回転軸=360°、傾斜=60° |
| キャビン | 重量 | キャビン:500kg、総重量:800kg |
| 寸法 | (W)900mm × (D)930mm × (H)1,800mm | |
| Ｘ線漏れ線量 | 1.0μSv/h以下 |
ステージ内の使用例
このように小さいサンプルを360度回して見たい場所を自由に制御できます。
MXT-160TUによる撮影例
液晶モニタ用ドライバのワイヤー断線
チップコイル
LEDの断線箇所
導入をご検討中の方へ
詳しくは、お気軽にお問い合わせください。